FAQ
Класифікація та стандарти чистоти повітря для чистих приміщень
Чиста кімната - це складне технічне спорудження, в якому регулюється концентрація зважених у повітрі часток пилу та підтримується специфічний мікроклімат. Для визначення рівня чистоти в таких приміщеннях використовують поняття "класу чистоти", що визначається за кількістю частинок в одиниці об'єму повітря.
Цей параметр, один з найважливіших в класифікації чистих кімнат, який регламентується стандартами.
На практиці широко застосовується Федеральний стандарт США 209 "Чисті кімнати і вимоги до робочих станцій. Контрольоване довкілля", точніше, його останні ревізії - (1988р.) і 209Е (1992р.). Згідно стандарту 209D, клас чистоти визначається кількістю частинок розмірами більше 0,5 мкм в одному кубічному футі повітря. Останній варіант 209Е відрізняється тим, що в ньому використовуються метричні одиниці, а клас чистоти визначається як логарифм концентрації зважених часток розмірами більше 0,5 мкм.
Таблиця 1. Класи чистоти для чистої кімнати згідно стандартам 209D та 209Е |
|||||||||||
Клас |
Концентрація зважених частинок |
||||||||||
> 0,1 мкм |
> 0,2 мкм |
> 0,3 мкм |
> 0,5 мкм |
> 5 мкм |
|||||||
209Е |
209D |
м3 |
куб. фут |
м3 |
куб. фут |
м3 |
куб. фут |
м3 |
куб. фут |
м3 |
куб. фут |
M1 |
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
- |
- |
|
M1.5 |
1 |
1240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
- |
- |
M2 |
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
- |
- |
|
M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75.0 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
- |
- |
МЗ |
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
- |
- |
|
М3.5 |
100 |
- |
- |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
- |
- |
М4 |
- |
- |
75700 |
2 140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
- |
- |
|
М4.5 |
1000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
35300 |
1000 |
247 |
7 |
У деяких країнах існують свої регіональні стандарти, що регламентують чистоту повітря в приміщеннях, наприклад у Великобританії - BS5295, Франції - AFNOR X44101, Німеччини VD 1.2083. Тому був розроблений міжнародний стандарт ISO 14644-1 "Класифікація чистоти повітря", що визначає 9 класів чистоти по концентрації зважених часток.
У січні 1997р. в Європейському Союзі був введений новий клас для чистих приміщень у фармацевтичній промисловості - GMP (Good Manufacturing Practice).
Іноді, щоб охарактеризувати рівень чистоти, говорять також про режими очищення повітря. У цьому випадку виділяють три категорії: з жорстким, середнім і помірним режимом. Взаємозв'язок між деякими стандартами на чисті приміщення наведена в таблиці 2.
Таблиця 2. Взаємозв'язок між стандартами на чисті приміщення |
||||||||
Країна |
США |
Великобританія |
Німеччина |
Франція |
EU |
ISO |
Категорія |
|
Стандарт |
209D |
209E |
BS5295 |
VD 1.2083 |
AFNOR X44101 |
GMP |
14644-1 |
|
Дата видання |
1988 |
1992 |
1989 |
1990 |
1972 |
1997 |
1997 |
|
1 |
M1.5 |
C |
1 |
- |
- |
3 |
жорсткий |
|
10 |
M2.5 |
D |
2 |
- |
- |
4 |
жорсткий |
|
100 |
M3.5 |
E или F |
3 |
4000 |
A/B |
5 |
жорсткий |
|
1000 |
M4.5 |
G или H |
4 |
- |
- |
6 |
середній |
|
10000 |
M5.5 |
J |
5 |
400000 |
C |
7 |
середній |
|
100000 |
M6.5 |
K |
6 |
4000000 |
D |
8 |
помірний |
Таким чином, в повітрі чистої кімнати класу 100 може бути зважене не більше 100 частинок/куб.фут (2 - 4 частинки/літр). Для порівняння наведемо таку цифру: щохвилини людина створює близько півтора мільйонів часток. Основними джерелами є волосся і одяг. Значна частина забруднюючих частинок виділяється при диханні. Тому всі роботи в чистій кімнаті повинні виконуватися в спеціальному одязі, виготовленого із спеціальної тканини. До персоналу чистої кімнати пред'являється ряд вимог, пов'язаних з їх особистою гігієною: від заборони на використання косметики і носіння бороди до заборони на куріння, оскільки курці створюють у півтора рази більше часток, ніж працівники, які не курять.
У стелі чистої кімнати зазвичай монтуються фільтрувальні блоки "фільтр - вентилятор", такі як відомі в усьому світі вентиляційні фільтри ENVIRCO Fan Filter Units MAC10.
Фільтри можуть бути згруповані та приєднані до загального модулю припливної системи, або можуть встановлюватися окремо, з індивідуальними припливними повітроводами. Таке розміщення, що нагадує перевернуту букву "Т", утворює пористу структуру під стелею. Установка вентиляційних фільтрів безпосередньо в стелі не дає можливості пилу накопичуватися на будь-яких поверхнях, наприклад, на стінках повітроводів при течії повітря від фільтра до чистої кімнаті. Крім того, цим забезпечується змішана течія повітря в кімнаті: повітря рухається вертикально зверху вниз до висоти 0,6 - 0,9 м, а потім видаляється через встановлені внизу стін витяжні отвори. Потім рециркуляційне повітря знову проходить через фільтри і подається в чисте приміщення. Іноді для отримання більш жорсткого режиму очищення повітря видаляється через перфорацію в фальшпідлогі в витяжну камеру під підлогою, чим забезпечується односпрямована течія повітря. Однак такі рішення мають високу вартість і застосовуються на заводах з виробництва напівпровідників.
Повітря, що надходить до кімнати після очищення у гепа або ульпа фільтрах, практично не містить зважених часток. Подача повітря в приміщення має кілька цілей. По-перше, зменшення концентрації пилу, який виникає внаслідок перебування людей і виконання виробничих процесів. По-друге, захоплення і винесення забруднюючих частинок з приміщення. Крім того, нагнітання повітря в чисту кімнату створює перепад тиску ~ 10Па між кімнатою та обдувочним шлюзом, що перешкоджає попаданню пилових частинок в кімнату при відкритті / закритті дверей в неї. Більш високий надлишковий тиск викликає свистячий шум у щілинах і труднощі при відкриванні дверей. Перепад тисків між обдувочним шлюзом та суміжними приміщеннями складає ~ 5Па.
Складні системи регулювання повітряного потоку за допомогою контролера передбачають можливість індивідуального регулювання кожного фільтрувального блока, реєстрації енергоспоживання, видачі сигналів про несправності електродвигунів, регулювання груп фільтр-вентиляторів і зміну швидкості обертання вентиляторів за часом доби.
Під-меню: